混合氣體質(zhì)量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量和控制；具有質(zhì)量流量計的功能，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。而質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
氣體質(zhì)量流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管丈量景象形象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。
混合氣體質(zhì)量流量計是一個較為準(zhǔn)確、快速、可靠、高效、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用。此外，質(zhì)量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。
工作原理：
它是利用科里奧利原理，即利用測量管下半部分振動頻率相位差正比于質(zhì)量流量以測量流量，利用測量管諧振頻率與管中被測介質(zhì)密度間的函數(shù)關(guān)系求取密度，從此兩個基本參數(shù)質(zhì)量流量qm和密度ρ衍生得出體積流量qv(=qm/e),若被測液體是兩種有一定密度差相溶或不相溶混合液體，經(jīng)密度演算得出一種液體在混合液中的濃度，如油甲油水混合液的含水率，在測量液固雙相流中可測出含固率。
由原理可知質(zhì)量流量計在流量計量行業(yè)一般是把可以不通過其他參數(shù)補(bǔ)償而直接測量流體介質(zhì)質(zhì)量流量的。其顯著的特點就是可以直接測得介質(zhì)的質(zhì)量流量，而不受介質(zhì)工作狀態(tài)的壓力、溫度等因素的影響。
