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國產(chǎn)層流壓差流量控制器技術(shù)介紹

時間:2025-07-21      點擊次數(shù):102

在精密制造與科研領(lǐng)域,氣體流量的精準(zhǔn)控制直接關(guān)系工藝質(zhì)量和實驗結(jié)果。陜西易度智能科技有限公司依托自主研發(fā)的層流壓差技術(shù),推出了SC、MC、EC及P系列質(zhì)量流量計(MFM)和質(zhì)量流量控制器(MFC),為我國半導(dǎo)體、新能源、生物制藥等領(lǐng)域提供了高可靠性的氣體測控解決方案。

層流壓差技術(shù)是易度智能產(chǎn)品的核心優(yōu)勢。其原理是通過層流元件將湍流氣體轉(zhuǎn)化為規(guī)則的層流狀態(tài),利用壓差傳感器測量層流元件兩端的壓力差,再結(jié)合內(nèi)置的高精度溫度與壓力傳感器實時補償環(huán)境波動,直接將工況流量轉(zhuǎn)化為標(biāo)況質(zhì)量流量。這一技術(shù)擺脫了傳統(tǒng)熱式流量計對“預(yù)熱"的依賴,實現(xiàn)開機即用、響應(yīng)速度低于500ms,在-20℃~60℃的寬溫域及1MPa壓力環(huán)境下仍保持穩(wěn)定運行。

易度智能的產(chǎn)品線覆蓋多場景精度需求:

SC系列配備觸控屏,支持實時顯示溫度、壓力、標(biāo)況/工況流量等4種參數(shù),精度高達(dá)±0.5%設(shè)定值,重復(fù)性±0.1%F.S.,適用于實驗室高精度標(biāo)定與材料制備等場景;

EC系列取消屏幕設(shè)計但同等精度,強化工業(yè)抗干擾能力,標(biāo)配RS485通訊,支持模擬信號擴展,專為集成到原子鍍膜設(shè)備、精細(xì)化工生產(chǎn)線等工業(yè)系統(tǒng)優(yōu)化;

便攜式P300內(nèi)置電池,續(xù)航15小時,滿足現(xiàn)場移動檢測需求。

所有系列均內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫,涵蓋氫氣、氬氣、特種混合氣等,可直接切換介質(zhì)或編輯混氣比例,無需人工轉(zhuǎn)換系數(shù)。結(jié)合上位機軟件,可實現(xiàn)流量數(shù)據(jù)的實時監(jiān)測與歷史記錄分析,大幅提升復(fù)雜氣體控制場景的效率。

目前,易度智能的層流壓差流量設(shè)備已應(yīng)用于多個領(lǐng)域:在光伏鍍膜工藝中精確控制反應(yīng)氣體濃度;為生物反應(yīng)器提供無菌環(huán)境下的穩(wěn)定氣源;集成于環(huán)保分析儀器實現(xiàn)排放氣體的動態(tài)監(jiān)測。其金屬密封殼體與316L不銹鋼流道設(shè)計,更確保了在腐蝕性氣體和電磁干擾環(huán)境中的長期可靠性。

從科研儀器到工業(yè)生產(chǎn)線,陜西易度智能通過層流壓差技術(shù)的深度創(chuàng)新,不僅打破了氣體流量控制設(shè)備的國際壟斷,更以“高精度-免預(yù)熱-強抗擾"三位一體性能,推動國產(chǎn)氣體測控技術(shù)。未來,隨著氫能、半導(dǎo)體等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的升級,這一自主技術(shù)體系將為中國精密制造提供更堅實的支撐。


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