一、易度智能EC400系列核心優勢
高精度與高重復性
精度:±0.5%設定值精度,滿足半導體、生物制藥等領域對流量控制的嚴苛要求。
重復性:±0.1%F.S.,確保長期使用中數據穩定性,減少校準頻率。
響應時間:<100ms,快速響應流量變化,適用于動態工藝控制。
寬溫度與壓力范圍
介質溫度:-20℃~60℃,適應低溫制冷或高溫加熱場景。
環境溫度:-20℃~50℃,覆蓋工業現場復雜環境。
工作壓力:0~1MPa,耐壓1.5MPa,支持高壓氣體輸送系統。
多氣體兼容性
內置70+種氣體數據庫,包括N?、O?、Ar、H?等常見氣體,支持混合氣體編輯,無需額外標定。
適用于多組分氣體配比、化學反應氣體控制等場景。
抗干擾與耐用性
金屬外殼:強抗電磁干擾,適應電力、冶金等強干擾環境。
密封材質:氟橡膠密封,耐腐蝕、耐高溫,延長使用壽命。
二、技術突破
層流壓差原理
相比傳統熱式流量計,層流壓差技術受溫度、壓力影響更小,零點漂移量低,長期穩定性更優。
核心算法補償壓力、溫度變化,確保全量程范圍內精度一致。
智能化功能
數字通訊:標配RS485,支持Modbus協議,可接入PLC、DCS系統。
模擬信號:選配4-20mA或0-5V輸出,兼容傳統儀表。
上位機軟件:實時顯示流量、溫度、壓力等參數,支持數據下載與歷史追溯。
便捷操作
觸屏操作(部分型號):S200系列配備觸摸屏,無需電腦即可讀取數據、切換氣體類型。
即插即用:無需預熱時間,開機后快速進入工作狀態。
三、應用場景
半導體制造
用于光刻機、刻蝕機等設備的氣體流量控制,確保工藝穩定性。
替代進口品牌(如美國Brooks、日本HORIBA),降低成本30%~50%。
生物醫藥
在生物反應器、發酵罐中精確控制氧氣、二氧化碳流量,提升細胞培養效率。
符合GMP標準,支持無菌環境使用。
新能源與環保
氫能燃料電池測試中控制氫氣、空氣流量,優化電堆性能。
廢氣處理系統監測氣體流量,確保達標排放。
精細化工
在催化劑評價、氣體反應裝置中實現微量氣體精準配比,提高產品收率。
四、性價比對比
指標 | EC400系列 | 進口品牌(如Brooks、HORIBA) |
價格 | ¥8,550~15,000 | ¥20,000~50,000 |
交貨周期 | 2~4周 | 8~12周 |
售后服務 | 本地化團隊,24小時響應 | 海外支持,時差與語言障礙 |
定制能力 | 支持非標工況定制 | 標準化產品為主 |