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氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高校科研院所和廣泛的工業過程自動化控制中使用。
