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  • 2025

    4-28

    泄漏率測試是工業(yè)制造與科研領域中確保系統(tǒng)密封性的關鍵環(huán)節(jié),廣泛應用于半導體設備、真空系統(tǒng)、醫(yī)療儀器、航空航天等高精度領域。測試的核心目標是量化氣體或液體在密閉系統(tǒng)中的微小泄漏量,通常以標準立方厘米每分鐘(sccm)或類似單位衡量。由于現(xiàn)代工業(yè)對密封性的要求日益嚴苛(如半導體工藝中允許的泄漏率可能低至1×10??sccm級別),傳統(tǒng)檢測手段難以滿足需求,而基于層流壓差式質量流量控制器(MFC)的技術因其高精度、快速響應和環(huán)境適應性,逐漸成為泄漏率測試的核心設備。層流壓差式MFC...

  • 2025

    4-27

    揮發(fā)性有機物(VOCs)的在線監(jiān)測是環(huán)保治理的關鍵環(huán)節(jié),尤其在工業(yè)廢氣處理、大氣污染防控等領域。而層流壓差式質量流量控制器(MassFlowController,簡稱MFC)憑借其高精度、抗吸附性及耐腐蝕等特點,成為VOCs在線監(jiān)測系統(tǒng)中的核心組件。層流壓差式MFC的技術原理與VOCs監(jiān)測的適配性層流壓差式MFC基于哈根-泊肅葉定律,通過層流元件強制氣體進入層流狀態(tài)(雷諾數(shù)Re技術特性與VOCs監(jiān)測的適配性:高精度與穩(wěn)定性:精度可達±0.5%讀數(shù),重復性&plu...

  • 2025

    4-25

    質量流量控制器在諸多領域中發(fā)揮著關鍵作用,其性能的優(yōu)劣直接關系到系統(tǒng)的精確控制和穩(wěn)定運行。以下是一些影響質量流量控制器性能的重要因素。流體特性是影響質量流量控制器性能的關鍵因素之一。不同的流體具有不同的物理性質,如密度、粘度、溫度和壓力等。密度較大的流體在相同的流速下會產生更大的質量流量,而粘度較高的流體則可能導致流量測量和控制的誤差增大。此外,流體的溫度和壓力變化也會對控制器的性能產生影響,因為這些變化會導致流體密度和體積的改變,進而影響質量流量的測量精度。精度和分辨率也是...

  • 2025

    4-25

    化學機械拋光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)是半導體制造中實現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化的關鍵工藝,其核心設備CMP機臺通過化學腐蝕與機械研磨的協(xié)同作用,確保芯片多層結構的精確加工。質量流量控制器(MassFlowController,MFC)作為高精度氣體流量控制的核心部件,在CMP設備中扮演了重要角色。CMP工藝對氣體控制的嚴苛需求CMP工藝的核心是通過拋光液與晶圓表面的化學反應及機械摩擦實現(xiàn)材料去除。在此過程中,多種工藝氣體(如氧氣、氮氣、氬...

  • 2025

    4-24

    氣體壓力控制器的定義與工作原理氣體壓力控制器是一種用于監(jiān)測和調節(jié)氣體壓力的自動化裝置,其核心功能是維持系統(tǒng)壓力在設定范圍內,確保設備安全運行并優(yōu)化工藝效率。它通過傳感器、閥門等組件實現(xiàn)動態(tài)調節(jié),廣泛應用于工業(yè)、能源、醫(yī)療、交通等領域。氣體流量與壓力的關系氣體流量(單位時間內通過的氣體體積)與壓力(單位面積上的作用力)之間存在復雜的動態(tài)關聯(lián),主要受流量-壓力曲線與阻力系數(shù)、流動狀態(tài)與雷諾數(shù)、溫度與介質特性的影響壓力控制器如何影響氣體流量氣體壓力控制器通過調節(jié)系統(tǒng)壓力,間接或直接...

  • 2025

    4-23

    層流壓差式質量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其高精度、快速響應、耐腐蝕等特性,已成為特種氣體輸送與控制系統(tǒng)中的核心組件。尤其在特氣柜(特種氣體控制柜)中,其應用場景覆蓋半導體、光伏、環(huán)保監(jiān)測等多個領域,通過精準的流量控制確保氣體供應的安全性與工藝穩(wěn)定性。一、半導體制造:高純特氣輸送與工藝優(yōu)化在半導體晶圓制造中,特氣柜需安全存儲并輸送高純度、高腐蝕性氣體(如SiH?、Cl?、HF...

  • 2025

    4-22

    層流壓差式質量流量控制器(MassFlowControllerMFC)在環(huán)保領域(如大氣監(jiān)測、流量校準、VOCs在線監(jiān)測系統(tǒng)等)的應用廣泛,小編將結合實際案例并分析其技術優(yōu)勢。一、在環(huán)保領域的典型應用場景及案例1.大氣監(jiān)測中的氣體采樣與流量控制應用需求:大氣監(jiān)測需對痕量污染物(如PM2.5、SO?、NOx等)進行高精度采樣,流量穩(wěn)定性直接影響數(shù)據(jù)準確性。例如,在環(huán)境空氣質量監(jiān)測站中,需確保氣體采樣流量誤差小于±1%,且需適應戶外復雜溫濕度環(huán)境。實際案例:某城市環(huán)...

  • 2025

    4-21

    在光伏制造領域,氣體流量的精準控制是提升工藝質量和生產效率的核心需求之一。隨著光伏技術向高效化、精密化方向發(fā)展,層流壓差式質量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其測量原理和性能,逐漸成為光伏行業(yè)氣體流量控制的關鍵設備。層流壓差式MFC基于流體力學中的哈根-泊肅葉定律(Hagen-PoiseuilleLaw),通過層流元件強制氣體進入層流狀態(tài)(雷諾數(shù)Re光伏行業(yè)中的應用場景薄膜沉積工...

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